1、在xrf分析儀分析中，某些元素間可能有全部或者部分譜線重疊。基本參數(shù)方程要求使用沒有受到譜線重疊影響的凈強(qiáng)度。在這些方程中包含某些經(jīng)驗(yàn)的修正。
2、在xrf分析儀分析中，在某些元素間可能存在元素間干擾或者基體效應(yīng)。來彌補(bǔ)這些效應(yīng)的經(jīng)驗(yàn)方式就是制備一系列校正標(biāo)樣的曲線，濃度范圍涵蓋要分析的范圍。此時需要仔細(xì)設(shè)計的參考物質(zhì)。就是所有不需要分析的元素的含量固定，而要分析的元素濃度不同。這就是所謂基體匹配。當(dāng)然，在xrf分析儀分析中可使用數(shù)學(xué)方法來彌補(bǔ)元素間或者基體的效應(yīng)。
3、干擾也可能來自康普敦譜線或者X射線管中靶材所產(chǎn)生的特征譜線，這些通過使用濾光輪去除，但同時也可能導(dǎo)致分析譜線強(qiáng)度的降低。
4、xrf分析儀分析中，干擾也可能來自金相結(jié)構(gòu)的誤差，由于分析目標(biāo)元素的密度受到樣品的質(zhì)量吸收系數(shù)的影響，而且數(shù)學(xué)模型假設(shè)的是均質(zhì)物質(zhì)，由此帶來誤差。例如，在含有碳和碳化物的鋼材中，鈦和鎳可能以鈦鎳化碳合物的方式存在，相比鐵對于鈦的K-a譜線來講，其具有較低的質(zhì)量吸收系數(shù)，鈦的密度高于這個樣品。
5、對于xrf分析儀由于分析的固體進(jìn)樣性質(zhì)，以及樣品表面的性質(zhì)可能與標(biāo)樣的差異，導(dǎo)致分析的偏差。
總而言之，樣品與標(biāo)樣的不同性越大，其誤差越大。所謂不同性包括：基體物質(zhì)的物理化學(xué)性能，例如前面所言的密度，結(jié)構(gòu)，成份組成以及濃度，表面情況，甚至樣品中待測試元素的含量是否在標(biāo)樣范圍內(nèi)，每次樣品放置的位置等都對于分析結(jié)果的準(zhǔn)確度有影響。
